廣州踏實半導體化工熱解析方案
2023-04-17 15:55:25
HJX
廣州踏實半導體化工熱解析方案
半導體，化工材料制造檢測中也多用到熱解析儀設備
案列：丙烯酸膠帶用于半導體制造工藝中。對在半導體制造中使用的丙烯酸類膠帶，通過釋放氣體分析(EGA)-
MS和TD-GC/MS分析加熱過程中有惡臭味的瑕疵品和良品，并分析瑕疵品中產生氣味的原因。
在半導體器件和化學品制造的分析中，痕量元素雜質的控制對于性能具有至關重要的作用，甚至影響半導體產品的良品率。
半導體制造商需要在整個制造過程中擁有檢測超痕量污染物的能力，包括晶圓、超純水、化學試劑、光刻膠、電子特氣、封裝材料等。
半導體工藝的進步，對元素雜質和微粒污染物檢測能力提出了更高的要求。
半導體行業中使用的有機化合物的純度雜質影響到相關產品的質量。
半導體行業使用的有機試劑也會產生相應的揮發性有機物，對生產和環境造成污染，包括AMC、VOCs等。珀金埃爾默公司熱解析儀與氣相色譜質譜聯用，可實現潔凈室或生產區域內空氣的在線或離線采集進樣，并檢測出低濃度（<ppb）的有機污染物。
廣州踏實半導體化工熱解析方案
GBT 24577-2009 熱解吸氣相色譜法測定硅片表面的有機污染物.pdf